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無塵凈化車間工程等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級,現(xiàn)在2010年版的GMP凈化車間已經(jīng)不用這個叫法了,分為ABCD級別,分別相對應于98版的幾個級別,通過檢測區(qū)域內的塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、沉降均數(shù)評價凈化級別,各個級別有不同的要求,凈化等級分靜態(tài)、動態(tài)兩種。
(一)潔凈室之等級 世界各國均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較?! ?09E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。 潔凈網(wǎng)z:Wg1pj 美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。
(二)潔凈室之定義 潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵凈化車間工程室或潔凈室。 「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性?! 崈羰易钪饕饔迷谟诳刂飘a(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。(三)潔凈室控管之項目 1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。 2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生?! ?. 溫度和濕度之控制?! ?. 壓力之調節(jié)?! ?. 有害氣體之排除?! ?. 結構物與隔間之氣密性?! ?. 靜電之防制?! ?. 電磁干擾預防?! ?. 安全因素之考慮?! ?0. 節(jié)能之考量。
GMP車間凈化工程對于亂流式潔凈室削減室內污染主要是經(jīng)過空氣的稀釋作用來完成的,因而,一般不必速度而是用換氣數(shù)來說的??墒?,對潔凈室潔凈工程中的氣流速度也是有要求,和單純空調房間比較,送風口的出口處氣流不要太大。吹過水平面的氣流速度不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而形成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。潔凈工程中凈化作用的怎么,要看每步流程是否達標,只要全方面考慮到,才能到達預期的作用。景德鎮(zhèn)無塵凈化車間工程